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神光光学系统

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应用环境:表面分析研究超高真空系统。
腔体材质:304\316L。
泄漏率<8 x 10-11mbar.l/sec。
所有法兰角度均激光对焦，确保精度。
多法兰端口，含真空泵浦共计18个端口、CF160三个，CF100两个，CF6三个和CF35九个。
报告︰三坐标测量仪检测报告、材质证明、真空检漏报告、
真空法兰数量、规格；真空腔体壁厚、高度、直径等参数可根据客户要求客制化生产

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